【導讀】MEMS是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)，采用硅微加工技術(shù)、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術(shù)制作的，關(guān)鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內(nèi)的微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的總稱。
MEMS是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)，采用硅微加工技術(shù)、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術(shù)制作的，關(guān)鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內(nèi)的微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的總稱。其中MEMS動態(tài)測試技術(shù)，因其能夠測試MEMS三維運動，分析MEMS動態(tài)特性、材料特性以及機械力學參數(shù)等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，已成為MEMS測試技術(shù)的重要組成部分。而研究如何在MEMS運動過程中記錄瞬間運動狀態(tài)，并恢復(fù)MEMS表面的離面運動歷程，則是MEMS動態(tài)測試技術(shù)實現(xiàn)離面運動測量的關(guān)鍵。
MEMS模型
MEMS離面運動測試系統(tǒng)首先通過頻閃同步信號編輯和控制軟件命令任意波形發(fā)生器產(chǎn)生激勵波形、頻閃照明信號和控制信號，激勵信號通過同軸電纜經(jīng)高壓放大器驅(qū)動MEMS運動，頻閃照明信號經(jīng)頻閃驅(qū)動電路實現(xiàn)LED的頻閃照明，控制信號則負責命令和協(xié)調(diào)CCD攝像機、圖像采集卡和納米定位儀的工作; CCD攝像機捕捉到的物體運動瞬間圖像由圖像采集卡采集并存儲在計算機指定的存儲區(qū)內(nèi),供后續(xù)的數(shù)據(jù)處理使用。在獲得完整的物體運動圖像之后,系統(tǒng)轉(zhuǎn)入數(shù)據(jù)處理階段,主要由圖像數(shù)據(jù)后續(xù)處理軟件完成,最終將得到諸如物體表面某點運動軌跡曲線或某個局部區(qū)域的運動狀態(tài)圖等實驗結(jié)果。
MEMS離面運動測試系統(tǒng)功能框圖
AigtekATA-4000系列高壓放大器在MEMS測試領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，其中常被應(yīng)用在相顯微干涉技術(shù)，微型傳感器技術(shù)等。ATA-4000系列高壓放大器最大輸出功率452Wp ，最大輸出電壓310Vp-p（±155Vp） ，最大輸出電流4Arms ，帶寬高達DC~3MHz。
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